电厂除氧器真空工作原理是应用亨利定律和道尔顿定律，根据亨利定律可知 ,在封闭容器中，任何气体同时存在于水面上 ,则气体的溶解度与其自己的分压力成正比 ,而且气体的溶解度仅与其本身的分压力有关。南京电厂除氧器真空定做在一定压力下 ,随着水温升高 ,水蒸汽的分压力增大 ,而空气和氧气的分压力越来越小。在100℃时 ,氧气的分压力降低到零,水中的溶解氧也降低到零。当水面上压力小于大气压力时,氧气的溶解度在较低水温时也可达到零。这样，水面上空间氧气分子被排出 ,或转变成其它气体 ,从而氧的分压力为零 ,水中氧气就不断地逸出，达到除氧的效果。

无水液氨只对钢产生轻微的均匀腐蚀，电厂除氧器真空而经过压缩机冷凝后的液氨带有少量的冷冻油并吸附于容器内壁，对材料会起到保护作用。但是储存氨液的容器，如储氨器，在充装、泄氨或检修过程中，介质收到空气的污染，尤其是液氨中的氧含量，会增加碳钢和低合金钢破裂的敏感性。因此使用单位应提供氨液成份检查记录，除氧器真空定做严格控制氨液中的氧、水、油等含量，以减少应力腐蚀。

电厂除氧器真空采用先进的自动控制系统，能够做到汽水同步控制，当软水泵给除氧器补水时，蒸汽阀同步开启，蒸汽在除氧器中加热软水，并通过压力、温度监测反馈信号调节蒸汽补给量，使脱汽塔内压力维持在0.02-0.03MPa，脱氧水温度维持在103～105℃，实现较佳除氧，较低汽耗的理想工况。当软水泵停止补水时，蒸汽阀同步关闭，停止补汽，南京除氧器真空避免了蒸汽的额外浪费。在热力除氧器的排气口也安装了调节阀来调节排气量，在保障氧气全部排出的同时使蒸汽的排出量控制在较小量。这样，除氧耗汽仅为锅炉蒸发总量的2%左右，比传统高位热力除氧器低5～10%。本自控系统由液位传感器、热电偶温度计、压力变送器、电控拒、蒸汽调节阀、蒸汽电动阀等组成。

真空除氧器在工作中使水始终处于紊流状态，电厂除氧器真空并有足够大的换热表面积，所以传热传质效果越好，南京除氧器真空排汽量小（即用与加热的蒸汽量少，能源损失小带来的经济效益也可观）除氧效果好产生的富裕量能使除氧器超负荷运行（通常可短期超额定出力的50%）或低水温全补水下达到运行标准。