锅炉除氧器真空水达到饱和温度时，水面上蒸汽的分压力接近于其混合气体的总压力，而不凝结气体的分压力接近于零，这样水中溶解的气体就会不断的排出水面，直至达到此温度和压力下的平衡状态。锅炉除氧器真空热力除氧过程是个传热和传质的过程，传热过程是把水加热到除氧器压力下的饱和温度，传质过程是将水中的气体分离析出。

锅炉除氧器真空除氧方法分为化学除氧和热力除氧两种，常用以热力除氧为主，化学除氧为辅的方法进行除氧。除氧器是利用热力除氧原理进行工作的混合式加热器，大同除氧器真空既能解析除去给水中的溶解气体；又能储存一定量给水，缓解凝结水与给水的流量不平衡。在热力系统设计时，也用除氧器回收高品质的疏水。

锅炉除氧器真空外部管道振动或内部出现故障时，也会导致设备振动。所以，当遇到震动时，在加热时，要将水位控制在三分之一的地方，按照指示操作。另外，除氧设备的调门开度不能太大，还要注意保持管道疏水。大同除氧器真空的降压速度也是大家在使用中，需要注意的，这也是设备运行出现震动的原因之一。如果太快，就需用备用气源，并且对管道振动原因进行分析，采取相应方法。

锅炉除氧器真空内装有喷嘴,喷嘴在压力下将进水扩散成细小的雾状水滴,由于雾状水滴有很大的热交换表面积,水滴与蒸汽进行强烈的热交换,使雾状水滴迅速被加热,达到饱和温度,为氧气的析出创造了有利的条件,而使除氧效果良好。除氧器真空定做再经过填料深度除氧后,水中含氧量就能满足给水的水质标准。由于水在除氧器内热交换强烈,雾状水滴很快被加热,水在除氧器内停留时间变得很短,所以除氧器在同样出力和热负荷下,旋膜式除氧器除氧器的体积比淋水盘式除氧器要小的多。

无水液氨只对钢产生轻微的均匀腐蚀，锅炉除氧器真空而经过压缩机冷凝后的液氨带有少量的冷冻油并吸附于容器内壁，对材料会起到保护作用。但是储存氨液的容器，如储氨器，在充装、泄氨或检修过程中，介质收到空气的污染，尤其是液氨中的氧含量，会增加碳钢和低合金钢破裂的敏感性。因此使用单位应提供氨液成份检查记录，除氧器真空定做严格控制氨液中的氧、水、油等含量，以减少应力腐蚀。

机组负荷在500MW以下时，锅炉除氧器真空为知足凝聚水系统压力的需要，凝泵固然投入变频，除氧器真空定做还需除氧器上水调门介入调节来控制除氧器水位除氧器上水调阀开始逐渐向下封闭，机组负荷300MW时关至30%，造成除氧器上水调门处的局部阻力增大，节流损失也增大，同时除氧器上水管道存在振动现象。