大型热力低位除氧器水达到饱和温度时，水面上蒸汽的分压力接近于其混合气体的总压力，而不凝结气体的分压力接近于零，这样水中溶解的气体就会不断的排出水面，直至达到此温度和压力下的平衡状态。大型热力低位除氧器热力除氧过程是个传热和传质的过程，传热过程是把水加热到除氧器压力下的饱和温度，传质过程是将水中的气体分离析出。

热力低位除氧器生产厂家为防止热力设备及其管道腐蚀，需要除去溶解在锅炉给水中溶解氧及其它气体。以保证热力设备安全运行和较长的使用寿命。大型热力低位除氧器原理是亨利定律和道尔顿定律，对溶于水中各种气体，在一定的压力下，水的温度越高，溶解度越低。旋膜除氧器就是利用蒸汽把给水加热到相应的压力下的饱和温度时，蒸汽分压力将接近于水面上全压力，溶于水中的各种气体的分压力接近于零，因此，水就不具有溶解气体的能力，溶于水中的气体就被析出，从而清除水中的氧和其他气体。

大型热力低位除氧器用加热方法除氧的设备称为热力除氧器。工作蒸汽压力为0.02MPa（水温104度）称为低压热力除氧；工作蒸汽压力大等于0.32MPa（水温大等于145度）称为高压热力除氧。喷雾式热力除氧器具有体积小、重量轻、除氧效果好和对进水温度要求低（20~40度）的优点已被广泛采用。真空除氧：是低温水（20~60度）除氧，与热力除氧相比具有蒸汽用量少或不用蒸汽的特点。两者在结构上基本没什么区别，大同热力低位除氧器顾名思义是在除氧器上部带有真空管及附加的真空装置。

抽真空的水喷射真空泵机组自身有问题：热力低位除氧器生产厂家可抽气管道上的阀门关闭，发动水喷射真空泵机组，这时泵吸口处的真空表读数即为真空度。如机组作业正常，大型热力低位除氧器则真空度应抵达循环水温所对应的饱和压力。例如循环水温为25℃时，真空度可在730mmHg左右。如达不到，说明机组有问题，或许的原因有离心泵缺点、管道或离心泵或喷射泵内喷嘴堵塞，喷射泵磨损等，应逐一查看或互换。

无水液氨只对钢产生轻微的均匀腐蚀，大型热力低位除氧器而经过压缩机冷凝后的液氨带有少量的冷冻油并吸附于容器内壁，对材料会起到保护作用。但是储存氨液的容器，如储氨器，在充装、泄氨或检修过程中，介质收到空气的污染，尤其是液氨中的氧含量，会增加碳钢和低合金钢破裂的敏感性。因此使用单位应提供氨液成份检查记录，热力低位除氧器生产厂家严格控制氨液中的氧、水、油等含量，以减少应力腐蚀。