大型除氧器真空的维护也同样是我们需要关注的问题。除氧器在运行过程中，注意应监视水位，因水位过高，水侧过负荷，除氧效果差，除氧器级管道会引起严重振动，除氧器真空定做并能自动开启溢流阀放水至凝汽器，造成热损失。除氧器水箱水位过低，会引起给水泵运行不安全，所以除氧器运行中应维持在正常水位；除氧器水质不合格时，应适当开大除氧器排空气阀。经常巡视除氧器汽水管道的法兰盘、阀门等有无泄漏现象，如有泄漏应设法消除。

大型除氧器真空用加热方法除氧的设备称为热力除氧器。工作蒸汽压力为0.02MPa（水温104度）称为低压热力除氧；工作蒸汽压力大等于0.32MPa（水温大等于145度）称为高压热力除氧。喷雾式热力除氧器具有体积小、重量轻、除氧效果好和对进水温度要求低（20~40度）的优点已被广泛采用。真空除氧：是低温水（20~60度）除氧，与热力除氧相比具有蒸汽用量少或不用蒸汽的特点。两者在结构上基本没什么区别，绍兴除氧器真空顾名思义是在除氧器上部带有真空管及附加的真空装置。

大型除氧器真空起膜器：由水室、汽室、起膜管、冷凝水接管、补充水管、疏水接管和一次进汽接管组成。新型旋射起膜器的旋射膜管内增加了水膜导向装置，绍兴除氧器真空即使低负荷运行时也能强力降膜，保持较佳的旋射膜裙。冷凝水、化学补水、经起膜管呈螺旋状按一定的角度喷出，形成水膜裙，并与一次加热蒸汽接管引进的加热蒸汽和由水箱经液汽网，水篦子上升的二次加热蒸汽接触被加热到接近除氧器工作压力下的饱和温度（即低于饱和温度2-3℃）并进行粗除氧。一般经此起膜段可除去给水中含氧量的90-95%左右。

大型除氧器真空具有很大的解析能力，并形成液膜没管壁强力旋转卷吸大量蒸汽，增强换热，传质功用，将相向泡沸改为悬挂式泡沸，除氧器真空定做提高各层中蒸汽流速高时泛点(飞溅)并能坚持汽(气)体通道；将独立的三种传热、传质设备缩化为一体，在一个单元的部件内完成。由于它具有很高的功率和某些特别的功用，突破了已有除氧器的技术功能。