电厂真空除氧器具有很大的解析能力，并形成液膜没管壁强力旋转卷吸大量蒸汽，增强换热，传质功用，将相向泡沸改为悬挂式泡沸，真空除氧器定做提高各层中蒸汽流速高时泛点(飞溅)并能坚持汽(气)体通道；将独立的三种传热、传质设备缩化为一体，在一个单元的部件内完成。由于它具有很高的功率和某些特别的功用，突破了已有除氧器的技术功能。

一阶段为初期除氧阶段。此时，由于水中的气体较多，不平衡压差较大，气体以小气泡的形式克服水的粘滞力和表面张力逸出。此阶段可以除去水中80％——90％的气体。内蒙古电厂真空除氧器定做二阶段为深度除氧阶段。此时，由于水中还残留着少量的气体，相应的不平衡压差很小，气体已没有足够的动力克服水的粘滞力和表面张力逸出，只靠单个分子的扩散作用慢慢离析出来。电厂真空除氧器这时可用加大汽水接触表面积，使水形成水膜，减小其表面张力，从而使气体容易扩散出来。也可以用蒸汽在水中的鼓泡作用，使气体分子附着在汽泡上从水中逸出。

电厂真空除氧器的加热汽源设计由除氧器系统的运行方式决定。当热力除氧器以带基本负荷为主时，多采用定压运行方式，供汽汽源管路上设有压力调节阀，真空除氧器定做要求汽源的压力略高于定压运行压力值，并设有更高压力的汽源作为备用。这种方式节流损失大，效率较低。而以滑压运行为主的除氧器，供汽管路上不设调节阀，除氧器的压力随机组负荷而改变。此种运行方式因不发生节流，其效率较高。

电厂真空除氧器内装有喷嘴,喷嘴在压力下将进水扩散成细小的雾状水滴,由于雾状水滴有很大的热交换表面积,水滴与蒸汽进行强烈的热交换,使雾状水滴迅速被加热,达到饱和温度,为氧气的析出创造了有利的条件,而使除氧效果良好。真空除氧器定做再经过填料深度除氧后,水中含氧量就能满足给水的水质标准。由于水在除氧器内热交换强烈,雾状水滴很快被加热,水在除氧器内停留时间变得很短,所以除氧器在同样出力和热负荷下,旋膜式除氧器除氧器的体积比淋水盘式除氧器要小的多。

内蒙古真空除氧器将锅炉给水加热至沸点，使氧的溶解度减小，水中氧不断逸出，真空除氧器定做再将水面上产生的氧气连同水蒸汽一道排除。热力除氧还能除掉水中各种气体（包括游离态CO2和N2），如用铵钠离子交换法处理过的水，加热后NH3也能除去。热力除氧后的水不会增加含盐量，也不会增加其他气体溶解量，操作控制相对容易，而且运行稳定、可靠，是目前应用多的一种除氧方法。