电厂除氧器真空的加热汽源设计由除氧器系统的运行方式决定。当热力除氧器以带基本负荷为主时，多采用定压运行方式，供汽汽源管路上设有压力调节阀，除氧器真空定做要求汽源的压力略高于定压运行压力值，并设有更高压力的汽源作为备用。这种方式节流损失大，效率较低。而以滑压运行为主的除氧器，供汽管路上不设调节阀，除氧器的压力随机组负荷而改变。此种运行方式因不发生节流，其效率较高。

延安除氧器真空将锅炉给水加热至沸点，使氧的溶解度减小，水中氧不断逸出，除氧器真空定做再将水面上产生的氧气连同水蒸汽一道排除。热力除氧还能除掉水中各种气体（包括游离态CO2和N2），如用铵钠离子交换法处理过的水，加热后NH3也能除去。热力除氧后的水不会增加含盐量，也不会增加其他气体溶解量，操作控制相对容易，而且运行稳定、可靠，是目前应用多的一种除氧方法。

电厂除氧器真空给水除氧是防止锅炉腐蚀和传热恶化、保证锅炉安全经济运行的关键环节。目前可用的除氧工艺主要有物理除氧、化学除氧和电化学除氧，除氧器真空定做这些工艺方式各有特点、有着不同的除氧效果和适用范围。1）物理除氧常用的有热力除氧法、真空除氧法和解析除氧法等，主要是利用物理的方法将水中的氧气析出。2）化学除氧主要是利用化学反应来除去水中含有的氧气, 使水中的溶解氧在进入锅炉前就转变成稳定的金属或其它药剂的化合物，常用的有药剂除氧法和钢屑除氧法等。3）电化学除氧是应用电化学保护的原理，使一种易氧化的金属发生电化学腐蚀，让水中的氧被消耗掉而去除。

电厂除氧器真空采用先进的自动控制系统，能够做到汽水同步控制，当软水泵给除氧器补水时，蒸汽阀同步开启，蒸汽在除氧器中加热软水，并通过压力、温度监测反馈信号调节蒸汽补给量，使脱汽塔内压力维持在0.02-0.03MPa，脱氧水温度维持在103～105℃，实现较佳除氧，较低汽耗的理想工况。当软水泵停止补水时，蒸汽阀同步关闭，停止补汽，延安除氧器真空避免了蒸汽的额外浪费。在热力除氧器的排气口也安装了调节阀来调节排气量，在保障氧气全部排出的同时使蒸汽的排出量控制在较小量。这样，除氧耗汽仅为锅炉蒸发总量的2%左右，比传统高位热力除氧器低5～10%。本自控系统由液位传感器、热电偶温度计、压力变送器、电控拒、蒸汽调节阀、蒸汽电动阀等组成。

电厂除氧器真空用喷嘴代替了淋水盘式除氧器中的淋水盘,使结构简单,检修方便。因此旋膜式除氧器除氧器已取代了淋水盘式除氧器。喷嘴是旋膜式除氧器除氧器关键的部件,延安除氧器真空常用的喷嘴型式有固定式和弹簧式。固定式喷嘴阻力大,不可调节,对负荷的适应性差,虽然额定出力时喷嘴雾化状况好,但低负荷时雾化得很差,甚至不能雾化,造成除氧效果恶化。