锅炉除氧器真空采用先进的自动控制系统，能够做到汽水同步控制，当软水泵给除氧器补水时，蒸汽阀同步开启，蒸汽在除氧器中加热软水，并通过压力、温度监测反馈信号调节蒸汽补给量，使脱汽塔内压力维持在0.02-0.03MPa，脱氧水温度维持在103～105℃，实现较佳除氧，较低汽耗的理想工况。当软水泵停止补水时，蒸汽阀同步关闭，停止补汽，唐山除氧器真空避免了蒸汽的额外浪费。在热力除氧器的排气口也安装了调节阀来调节排气量，在保障氧气全部排出的同时使蒸汽的排出量控制在较小量。这样，除氧耗汽仅为锅炉蒸发总量的2%左右，比传统高位热力除氧器低5～10%。本自控系统由液位传感器、热电偶温度计、压力变送器、电控拒、蒸汽调节阀、蒸汽电动阀等组成。

锅炉除氧器真空的加热汽源设计由除氧器系统的运行方式决定。当热力除氧器以带基本负荷为主时，多采用定压运行方式，供汽汽源管路上设有压力调节阀，除氧器真空定做要求汽源的压力略高于定压运行压力值，并设有更高压力的汽源作为备用。这种方式节流损失大，效率较低。而以滑压运行为主的除氧器，供汽管路上不设调节阀，除氧器的压力随机组负荷而改变。此种运行方式因不发生节流，其效率较高。

锅炉除氧器真空用加热方法除氧的设备称为热力除氧器。工作蒸汽压力为0.02MPa（水温104度）称为低压热力除氧；工作蒸汽压力大等于0.32MPa（水温大等于145度）称为高压热力除氧。喷雾式热力除氧器具有体积小、重量轻、除氧效果好和对进水温度要求低（20~40度）的优点已被广泛采用。真空除氧：是低温水（20~60度）除氧，与热力除氧相比具有蒸汽用量少或不用蒸汽的特点。两者在结构上基本没什么区别，唐山除氧器真空顾名思义是在除氧器上部带有真空管及附加的真空装置。

锅炉除氧器真空起膜器：由水室、汽室、起膜管、冷凝水接管、补充水管、疏水接管和一次进汽接管组成。新型旋射起膜器的旋射膜管内增加了水膜导向装置，唐山除氧器真空即使低负荷运行时也能强力降膜，保持较佳的旋射膜裙。冷凝水、化学补水、经起膜管呈螺旋状按一定的角度喷出，形成水膜裙，并与一次加热蒸汽接管引进的加热蒸汽和由水箱经液汽网，水篦子上升的二次加热蒸汽接触被加热到接近除氧器工作压力下的饱和温度（即低于饱和温度2-3℃）并进行粗除氧。一般经此起膜段可除去给水中含氧量的90-95%左右。